二手 LAM RESEARCH TCP 9400 #9226362 待售

LAM RESEARCH TCP 9400是半導體器件制造中使用的蝕刻器/灰化器，用於器件成型過程中的特定材料層。TCP 9400利用Technology Communication Protocol （TCP）接口將流程工具聯網,使它們能夠相互交互,並協調諸如氣流、溫度、時間和壓力等參數,以實現最高的流程性能。LAM RESEARCH TCP 9400可以蝕刻或粉刷500 mm尺寸的基板,具有獲得專利的ZRide™平臺,可提供穩定、低摩擦的運動,並在加工面高度上保持緊密的晶圓圖樣,這對於晶圓面的重復性和工藝均勻性非常重要。TCP 9400利用LAM的 技術,利用快速反應閥門精確啟用和禁用過程氣體,以快速實現可重復的過程結果,並針對特定的工作要求進行微調。該設備還配備了動態Inerting™，能夠快速切換惰性氣體和加工氣體，以快速響應工作要求的變化，並為真空過程提供高度的控制和統一。該系統還配備了一個專有的自動化晶片處理單元，允許單晶片和作為晶片批量處理，以及一個低壓負載鎖（LPL）腔室，能夠實現快速的基板預清洗和加載。LAM RESEARCH TCP 9400能夠在一個腔室內控制多個端口,從而在端口之間控制氣體的切換。為確保安全,TCP 9400配備了一套硬件和軟件安全功能,可防止未經授權進入加工室以及監控溫度、壓力和濕度水平。LAM RESEARCH TCP 9400還配備了泄漏檢測機,如果工具檢測到任何異國情調的材料,它將觸發自動關閉和清洗。TCP 9400是一種用於半導體器件制造工藝的綜合性的多合一蝕刻器/asher資產。LAM RESEARCH TCP 9400具有TCP接口、氣流技術、動態進氣功能、自動晶圓處理模型和各種安全功能,為可重復結果提供了精密的控制和精度。