二手 LAM RESEARCH TCP 9400 #9233832 待售

LAM RESEARCH TCP 9400是一款高級蝕刻器/asher,旨在提供堅固、高速、高精度的晶片蝕刻工藝。該機能夠同時執行濕蝕刻和幹蝕刻步驟，並對所有蝕刻參數提供出色的控制。蝕刻室包含多個反應物室或載流子室，以及一個加熱模塊，該模塊能夠維持高達650°C的幹燥蝕刻溫度和高達600°C的濕蝕刻溫度。此外，它還有一個射頻發生器，用於在濕蝕刻和幹蝕刻應用中控制射頻功率。該機還配備了先進的半導體加工機器人，能夠在高精度蝕刻或灰分工藝中精確、快速地處理晶片。機器人能夠處理4個「最多8個」晶圓。機器還包含一個包括多道具傳感器室的儀表包，該室對流動、壓力、溫度和射頻等多個蝕刻參數提供額外的控制。TCP 9400還具有基於壓力的高速氣體輸送系統。該系統采用高壓和低壓氣體的組合，在整個晶片上輸送均勻的蝕刻或灰燼。還有一個氦氣輸送系統，它允許額外控制蝕刻長寬比和蝕刻選擇性。機器還包含一個高級控制電子封裝，能夠支持手工和自動化蝕刻/灰燼過程。廣泛的應用程序庫為用戶提供了多種手動和自動控制流程的選項。顯示觸摸屏還提供了直觀的用戶界面，使編程和監控過程變得簡單明了。總體而言,LAM RESEARCH TCP 9400是一款先進、靈活、高精度的蝕刻器/蝕刻器,能夠滿足現代半導體加工的苛刻要求。其堅固的設計和高性能特性使其成為任何半導體制造設施的寶貴資產。