二手 LAM RESEARCH TCP 9400 #9243878 待售

LAM RESEARCH TCP 9400是一款高效、功能齊全的蝕刻器/asher,可提供最佳的過程靈活性。它是屢獲殊榮的TCP系列工藝工具的成員,旨在提供卓越的研發和生產應用性能。TCP 9400提供了包括聚合物、金屬、有機物和陶瓷在內的所有金屬和電介質的精確且可重復的工藝。LAM RESEARCH TCP 9400非常適合於厚度在1.4mm至4.5mm之間的晶片的蝕刻和剝離。TCP 9400 蝕刻器/asher提供最大的工藝靈活性,包括各種工藝氣體、基材和卡盤溫度。它有各種不同的流程模塊，可以方便地為不同的流程定制蝕刻器。對於基於等離子體的工藝，LAM RESEARCH TCP 9400與專利PlasmaTuner™模塊的使用提供了極好的一致性。等離子體調諧器模塊精確調整等離子體源的輸出功率，以實現卓越的均勻性和過程控制。TCP 9400還包括用於流程自動化的最新軟件和硬件。它具有集成的外圍設備集成的過程控制功能,以及一整套軟件和硬件,可讓客戶快速輕松地對其過程進行編程。LAM RESEARCH TCP 9400旨在實現最終的可重復性和可重復性,從而獲得一致、可靠的結果。它為優越的空氣熱交換提供雙獨立濾波器，使整個腔室的熱梯度最小化，提供比競爭系統好20倍的均勻性。TCP 9400還采用了水環泵,以高效、一致的方式輸送清潔過程氣體。總體而言,LAM RESEARCH TCP 9400 蝕刻器/Asher為各種基材的高效蝕刻和剝離提供了卓越的工藝靈活性和控制。它非常適合要求精確、可重復性和可靠性的研發和生產應用。