二手 LAM RESEARCH TCP 9400 #9262479 待售

LAM RESEARCH TCP 9400是一種用於半導體器件制造過程中關鍵薄膜和基板的高通量和可靠處理的蝕刻器/asher。它在一個易於維護的平臺中提供優化的蝕刻、灰化和剝離功能。TCP 9400通過使用高熱處理室和高速渦輪泵提供均勻的氣體流動和最佳的熱控制,提供了高效的性能。該單元可以通過提供精確直觀操作的觸摸屏界面進行控制。它還配備了一套功能強大的自動化功能,包括不同的步驟配置文件和配方控制。這使得它非常適合最具挑戰性的蝕刻任務。LAM RESEARCH TCP 9400還配備了先進的安全功能和嚴格的汙染控制。它密封並獨立控制鋁電池，在那裏添加和加工材料。鋁電池防止材料汙染，也為蝕刻和清潔提供受控環境。此外，該裝置還裝有泄漏探測器和壓力控制安全裝置，以確保危險材料或微粒不會從密室中逸出。TCP 9400還配備了先進的材料處理，包括遠程HF傳感器控制、CDW濃度控制以及集成加載系統。通過所有這些功能,LAM RESEARCH TCP 9400提供了對蝕刻和清潔過程的精確而高效的控制,同時確保安全和消除汙染。TCP 9400是任何需要高性能、可靠的蝕刻器/粉碎器的潔凈室或制造工廠的理想選擇。它的穩定性、自動化能力、汙染控制和安全特性使其成為任何精密或大規模蝕刻操作的絕佳選擇。