二手 LAM RESEARCH TCP 9400 #9313523 待售

LAM RESEARCH TCP 9400是一種高精度、高通量的蝕刻器和光掩模生產及其他光刻應用。這種Benchtop 蝕刻器/asher提供了卓越的工藝均勻性和可重復性,並且由於其精確的設計,能夠提供卓越的蝕刻性能。TCP 9400設計有濕蝕刻和幹蝕刻，以及反應性離子蝕刻（RIE）腔室選項，以適應不同光刻工藝的蝕刻需求。例如，濕蝕刻室可用於矽片的深蝕刻，而幹蝕刻室則用於高長寬比的薄溝槽。此外，RIE選項可用於蝕刻更精確的特性，如電路線路和觸點。LAM RESEARCH TCP 9400還設有端點檢測器，可監控蝕刻過程，並可針對不同蝕刻速率進行調整。這樣可以更好地控制和優化蝕刻結果。這種蝕刻器/asher的最大蝕刻速率也是可調的，這取決於蝕刻工藝和材料。TCP 9400還配備了先進的實時基板溫度控制設備。例如，它可以保持攝氏4至400度的溫度範圍。溫度控制減少了熱膨脹和收縮造成的誤差，導致蝕刻操作精度更高。它還具有一個自我校準系統，以確保在不同基板上一致的蝕刻深度。LAM RESEARCH TCP 9400還有一個配有顯示屏和可調參數的控制控制臺，用於曝光時間、基板溫度、蝕刻速率等設置。這允許用戶輕松自定義其蝕刻操作。它還具有屏幕上的配方創建者,使用戶能夠為特定的光掩模生產應用程序選擇適當的蝕刻配方。TCP 9400是蝕刻和灰化相關工藝的安全可靠選擇。蝕刻器/asher的設計具有安全特性，如緊急停車和電子控制的聯鎖裝置，以避免危險情況。還配有空氣濾清機，保證蝕刻環境的清潔度。此外，它還設計了一個負載鎖和一個清潔工具，以確保快速批對批傳輸。總體而言,LAM RESEARCH TCP 9400是一款可靠、高精度的蝕刻器和粉碎器,旨在優化蝕刻和光掩模操作。其卓越的蝕刻性能、高精度的溫度控制資產和安全特性，使其成為蝕刻和灰化應用的高效可靠的選擇。