二手 LAM RESEARCH TCP 9400 #9364645 待售

LAM RESEARCH TCP 9400 asher/etcher是一種反應性離子蝕刻（RIE）設備,設計用於使用CF4、NF3,SF6和O2等多種化學方法對具有挑戰性的材料進行幹蝕刻。該系統能夠以高度可重現和可重復的方式蝕刻基板上的特征。它可以在平面和三維形式上以可追溯的特征尺寸精度和均勻性進行蝕刻。它配備了最新的兩室技術-LaB6和新的WFMS室.該LaB6代表「低壓聲屏障蝕刻」，非常適合於氟化的、矽和摻雜的矽蝕刻。最近增加了新的WFMS腔室，代表「廣域場質譜」，是設備和圖案化晶圓級處理的理想選擇。TCP 9400 蝕刻器/asher利用先進的介質輸送系統,可精確輸送氣體和化學物質。它還以氣流控制單元（GFCS）為特色，具有「總量」和「局部」氣體星雲控制。此外，這兩個會議廳都提供了遠程監測能力，從而能夠進行流程控制和流程數據反饋。LAM RESEARCH TCP 9400 asher/etcher還具有高度先進的晶圓傳輸能力。晶片可以使用半自動晶片裝卸機運輸進出兩個腔室。這種方便的工具允許安全、自動化和計量檢查晶圓處理。TCP 9400 asher/etcher設計有一個自動運行的計算機驅動器。此功能保證了無故障操作,並消除了對任何類型編程的需求。該資產提供了快速的晶圓檢索和卸載時間，設計用於廣泛的批處理和單個晶圓過程。它還利用新型等離子體發生器、低熱負荷、自動檢測晶圓取向和側壁蝕刻能力。LAM RESEARCH TCP 9400 蝕刻器/asher是控制和執行快速蝕刻過程的寶貴資源。其豐富多樣的高級功能使其非常適合生產高質量、高可靠性的零部件。它非常適合對各種材料進行快速、精確的蝕刻，包括純矽晶片、樹脂塗層晶片、絕緣子矽（SOI）晶片、金屬氧化物半導體晶片（MOS）晶片和各種其他沈積材料。