二手 LAM RESEARCH TCP 9400B #9402507 待售
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LAM RESEARCH TCP 9400B是一種專為半導體器件制造而設計、工藝控制要求嚴格的高精度蝕刻器和asher。TCP 9400B憑借其獲得專利的燃氣櫃,能夠產生比其他型號更快、更均勻、吞吐量更高的結果。它提供業界領先的性能和可靠性,非常適合任務關鍵型應用程序,如MEMS、RF、Advanced FTIQ和纖薄晶圓處理。LAM RESEARCH TCP 9400B的氣櫃技術在通過腔壁吸入氣體分子時清除氣體分子，從而提高了蝕刻的均勻性和速度。這種改進的過程控制意味著更小的底切、更好的輪廓一致性和更少的空隙。一個專利的三角相移磁控管源提供了超過95%的均勻性，為厚膜蝕刻。先進的PID控制系統具有自動調頻功能，並采用真實的模型對蝕刻條件進行連續監控。機器有一個卡盤和兩個處理室，允許用戶在同一個作業中蝕刻和粉刷而無需離開系統。它支持2到6英寸的基板尺寸,旋轉速度高達11,000 rpm。工藝溫度範圍介於-10°C和+400°C之間，確保與幾乎任何類型的蝕刻和灰化工藝兼容。其他功能還包括24位內部彩色液晶顯示屏、帶有網絡可尋址遠程控制（NARC 2）協議的以太網連接、獲得專利的低消耗電源設計以及大量安全系統,包括集成的突發壓力通知系統和靜電放電（ESD）保護。TCP 9400B提供卓越的可靠性、準確性和可重復性。其先進的工藝控制技術和創新的設計使其成為精密蝕刻和灰化應用的理想選擇。
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