二手 LAM RESEARCH TCP 9408 SE #9014916 待售

LAM RESEARCH TCP 9408SE Asher是一種高度精確、中等負荷、蒸氣相濕蝕刻工具,非常適合處理批量生產和工藝開發的要求。Asher提供了當今終極光掩碼過程所需的精度、吞吐量和可重復性。它旨在以最低的用戶工作量和最短的工藝周期時間來處理各種特殊的工藝復雜性和高檔生產。它比其他蝕刻系統具有許多優點，包括對工藝參數的自動精細控制，如流速、溫度、壓力和循環時間。它采用了蒸氣絕熱蝕刻工藝，提供了一致、最優的蝕刻工藝。這樣就消除了手工工藝條件優化的難題.超精確的數字流量控制可確保最大允許蝕刻速率,而不會使臨界尺寸均勻化。溫度和壓力的穩定性為蝕刻速率和基板溫度提供了一個廣泛的過程窗口。它具有基於Windows的直觀觸摸屏用戶界面和流程日誌,可實時監控蝕刻流程條件,而無需手動監控流程。Asher可靠、經驗證的DV12工藝技術提供卓越的性能和真正的工藝多功能性,並以三年有限保修為後盾。它設計靈活、緊湊，易於安裝，與傳統的濕蝕刻系統相比空間最小。Asher可與電源晶片加熱器配合使用,並可將溫度、壓力和流量控制直接傳送到前面板。它為各種蝕刻化學提供了一個集成的、自動化的源-氣輸送系統，在循環之間自動清除腔室，並在蝕刻過程中自動控制壓力和溫度。TCP-CN-9408SE Asher還配備了開機安全開關和緊急關閉開關。Asher還提供了使用用戶手冊存儲工藝配方的功能,從而能夠快速切換工藝化學或工藝參數。這確保了全過程的可追蹤性和可重復性，使其適合制造大批量、復雜的光掩模。TCP-CN-9408SE Asher是實現客戶吞吐量最大化、擁有成本最小化的理想解決方案。