二手 LAM RESEARCH TCP 9408 SE #9178705 待售
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ID: 9178705
晶圓大小: 8"
優質的: 2004
Poly etcher, 8"
Software version: 1.6.012A
SMIF System: (2) ASSYST
Process chemicals: SCCM
(1) AC Power box
(2) RF Racks
TCP RF Match part no: 853-032294-002
Bias RF match: 853-330951-001
ESC Power supply: 810-017086-018
Chamber manometer MKS make (All): E29B-23813
Turbo manometer MKS make (All): 625A-14375
Ref manometer MKS make (All): 625A-14059
Turbo pump: STPH1301L1B
TCP RF Gen.AE make(All): 660-024637-006 RFDS
Bias RF Gen.AE make( All): 3155027-003 B
Wafer drag back: Enable
Wafer offset alignment alignment: 310
Gas ring capacitance: 1300+/- 15 pf
Software version: 1.6.1
MFC Config.CL2-200 sccm: 200
MFC Config.O2-100 sccm: 100
MFC Config.HE/O2-20 sccm: 20
MFC Config.CF4-100 sccm: 100
MFC Config.HBR-500sccm: 500
MFC Config.SF6-100 sccm: 100
MFC Config.HE-500 sccm: 500
MFC Config.CL2-30 sccm: 30
TCP Coil position: 8 O'CLK
Turbo pump capacity: 1300L
Vat valve / Pendulum valve: Pendulum
2004 vintage.
LAM RESEARCH TCP 9408 SE是一款功能強大的獨立蝕刻器和asher設備。它是一個高性能的矽片蝕刻器和asher系統，專門為滿足半導體行業最苛刻的要求而設計，同時為用戶提供了處理各種材料的能力。該單元由一個精密工程、高度自動化的平臺組成，該平臺配備了高速、高品質的旋轉蝕刻頭，提供了高超的等離子體均勻性，減少了蝕刻時間。該機的特點包括溫度控制的渦輪泵，使蝕刻和灰化具有最大的重復性和均勻性，以及高端工藝控制，為用戶提供精確控制蝕刻速率、過度蝕刻、薄膜厚度和端點的能力。TCP 9408 SE還配備了一對先進的板載QCM/PCM/FIB探測器和板載質譜儀，提供精確的端點檢測，確保精確蝕刻和灰化。此外,該工具是完全可編程的,允許用戶創建各種配方並存儲它們,以及快速回憶它們,並在最短的停機時間內執行蝕刻和灰化。用戶界面直觀、用戶友好，使操作員能夠方便地控制和監控整個過程。此外,用戶界面中還提供了一系列診斷和流程監控工具,從而可以選擇和查看最佳整體流程。LAM RESEARCH TCP 9408 SE提供精確而穩健的蝕刻和灰度處理,使用戶能夠在不犧牲流程吞吐量的情況下實現最高級別的流程一致性。該資產非常適合蝕刻和灰化工藝,如矽蝕刻、應力減輕和摻雜濺射,並為所有類型的材料（包括III-V和高k介電）提供卓越的性能。總體而言,TCP 9408 SE是一款出色的蝕刻器和asher模型,進一步提高了半導體制造的工藝重復性、生產率和質量。
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