二手 LAM RESEARCH TCP 9408 SE #9178710 待售

LAM RESEARCH TCP 9408 SE是一種精密蝕刻器/灰化器,具有先進的熱控制設備,可提供可靠的蝕刻、灰化和組合蝕刻/灰分工藝。該系統具有水平矽化室壁，以減少機械沖擊、平整和用純凈水沖洗。它配備了用戶友好、直觀的圖形用戶界面（GUI）,大大簡化了操作。該裝置設計用於加工各種基板，包括金屬、矽、陶瓷和玻璃。TCP 9408 SE具有提供恒壓和溫度控制的氦氣沖洗機。該工具的設計最大吞吐量，具有快速的工藝周期時間，每小時最多14個腔室周期。蝕刻/灰分處理時間為5至7分鐘,具體取決於基材類型和工藝參數。此外，該資產最多有5種工藝配方，使用戶能夠為不同的應用保存和召回配方。LAM RESEARCH TCP 9408 SE具有堅固的設計,能夠容納更大的零件和更高的蝕刻/灰燼負載。該模型能夠處理多達2公斤的材料，負載大小為4至6厘米。它還包括側向、機動式腔室和覆蓋運動，以適應不同尺寸/形狀的部件。TCP 9408 SE設備具有高分辨率工作室，具有1微米加熱級。加工室采用電子加熱，溫度範圍高達1050 °C。此外，系統有加熱級的可選冷卻，冷卻範圍為-60 °C。該單位提供對蝕刻/灰燼參數的全面監測和控制；氦氣沖洗壓力、溫度和冷卻速率。它還有一個自動循環停止和氣體管理機器，用戶可以在那裏監控過程參數和循環時間。LAM RESEARCH TCP 9408 SE具有多種安全特性，包括安全鎖蓋、雙夾密封O形圈密封、聯鎖超載檢測、故障隔離工具等。該資產是為最佳的危險環境控制和用戶安全而設計的，配備了一系列保護性警報，並提供了額外的屏蔽。總之，TCP 9408 SE是一種具有先進熱控制模型的可靠、魯棒性的蝕刻器。它提供了多種工藝參數和安全特性,具有快速的工藝周期時間和高吞吐量。該設備能夠處理各種基材，具有高分辨率的工作室和用戶友好的GUI。