二手 LAM RESEARCH TCP 9600 CFE #293809929 待售

LAM RESEARCH TCP 9600 CFE是一種高性能、全自動的蝕刻/灰化設備,設計用於半導體器件制造中復雜的表面圖樣的生產。此高效系統可增強對處理參數的控制,以便在廣泛的應用程序中實現統一的蝕刻/灰化結果。該機的主要部件包括真空處理室、晶圓傳輸機器人、工藝和排氣泵、面板控制器和計算機化數據采集單元。控制器為用戶提供對所有操作的完全命令訪問權限。LAM RESEARCH TCP 9600CFE可以配備一系列可選功能,例如1X和1X/2X變焦放大功能,以增強圖樣分辨率。真空機利用一個V139的兩級滾動泵位於工藝室內，與額外的滾動泵在排氣室內。這些泵為用戶提供了對腔室壓力的精確控制以及波動監測。晶圓傳輸機器人是一個完全集成的精密設計的手臂組件，能夠同時維修單個晶圓和帶狀傳輸基板。配備安全聯鎖和接近傳感器，機器人提供安全、準確的晶圓處理。主室由面板控制器和信號分配工具操作，與用戶的個人工作站集成。步驟編輯器提供了分步編程和監視,它提供各種類型的通告輸出,使用戶能夠逐步修改腔室參數。這樣可以確保過程均勻性的最大精度和均勻性。這種蝕刻/灰化資產的應用包括用於擴散和淺溝隔離（STI）的蝕刻工藝，包括介電材料如氧化矽、氮化物、聚酰亞胺、硼磷矽酸鹽玻璃和氧化鋁，以及金屬蝕刻如銅、鎢和金。此蝕刻器/asher在復雜的蝕刻和灰化要求方面提供了卓越的控制和準確性。TCP 9600 CFE 蝕刻器/asher是一款功能強大的機器,旨在提供卓越的表面圖案質量和快速的吞吐量。TCP 9600CFE具有多區域功能、先進的機器人技術和精密儀器,是滿足您的蝕刻和灰度要求的絕佳選擇。