二手 LAM RESEARCH TCP 9600 CFE #293809931 待售

LAM RESEARCH TCP 9600 CFE是一種在半導體制造過程中用於加工晶片的蝕刻器/灰化器。它是TCP蝕刻器和分頁器系列的一部分,其設計目的是在不影響吞吐量的情況下實現高質量的晶圓處理。LAM RESEARCH TCP 9600CFE提供高速腔室,並具有自動晶圓跟蹤功能,以及精密的腔室電導功能,可精確調整蝕刻和灰分配方。這使得在晶片上創建的薄膜結構具有極好的控制和均勻性。TCP 9600 CFE腔室具有廣泛的可調參數，使得從多晶矽到低k電介質的各種材料都可以進行加工。該腔室還具有一個大的、均勻的等離子體腔室，能夠實現高蝕刻速率。該室包含兩個獨立的蝕刻器和灰燼，能夠同時處理兩種不同的材料。該室還具有先進的自動化和精確的溫度控制，允許精確和一致的蝕刻結果。TCP 9600CFE 蝕刻器/asher被設計為與最先進的Lam Washer System結合使用，該系統在加工後提供優越的晶片清潔和幹燥。Lam Washer System具有內置的內存、診斷和故障排除功能,使其成為一致可靠地處理高密度薄膜層的絕佳解決方案。LAM RESEARCH TCP 9600 CFE是在晶片上創建的薄膜結構實現高通量、高可重復運行、高均勻性的絕佳工具。其先進的自動化、精確的溫度控制以及廣泛的可加工材料,使其成為半導體器件制造等應用的理想解決方案,在這些應用中,必須對高密度層進行蝕刻或粉刷。其用戶友好的界面和可靠的性能使其成為那些需要高質量蝕刻和灰化效果的人的絕佳選擇。