二手 LAM RESEARCH TCP 9600 CFE #9296670 待售
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已售出
ID: 9296670
晶圓大小: 8"
優質的: 1997
Metal etcher, 8"
DSQ Chamber
Stand alone
Handler type: Auto loader
EQUIP Robot type
End effecter
SEMI: E84
AC Dist box
Pre-aligner
ESC
Cables included
1997 vintage.
LAM RESEARCH TCP 9600 CFE是由LAM RESEARCH Corporation開發的高級蝕刻器/asher。該設備采用了最新的蝕刻和灰化技術。它具有超高的生產率設計,並提供易於使用的平臺,方便快速可靠的蝕刻和灰化過程。LAM RESEARCH TCP 9600CFE重量輕,但高度耐用,采用閉環低壓操作,有助於確保一致的蝕刻和灰化過程。它在各種基板上具有高度均勻的沈積,並通過三個彩色攝像機組成的網絡進行固態光學數字發射控制。這種數字排放控制系統有助於確保一致和可靠的結果。TCP 9600 CFE配備了三個高效電光頭,利用先進的等離子體火炬技術,采用離子束提取裝置進行最高質量的蝕刻和灰化工藝。這樣可以使基材降解最小,實現細線蝕刻和高長寬比灰化。TCP 9600CFE是一個可擴展的模塊化平臺,可以升級以適應單晶片或批處理,並提供高效的晶片到晶片同步。它還提供多位置基板定位,可以輕松與氣體輸送和排氣等其他支持系統集成。總體而言,LAM RESEARCH TCP 9600 CFE是由LAM RESEARCH Corporation設計和制造的高級蝕刻器/asher。它是一種輕巧耐用的機器,在各種基板和三個高效電光頭上均勻沈積。它也是一個可擴展和模塊化的平臺,可以升級以適應單晶片或批處理,並容易與氣體輸送和排氣等其他支持系統集成。
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