二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #131567 待售

LAM RESEARCH TCP 9600 SE是一種用於半導體器件、MEMS和其他元件的多室蝕刻器/asher設備。該系統采用三室設計，能夠精確蝕刻和粉刷關鍵部件。每個腔室的溫度都可以控制，以確保溫度均勻，對於使用的各種基板，工藝參數都是可調的。集成精密處理單元保證了可重復的效果，並通過其高效的微粒空氣濾波器（HEPA）保證了機器的清潔度。LAM RESEARCH TCP 9600SE是一種可靠、安全、高效的工具,可在整個蝕刻和灰化過程中提供一致的氣流。它還包括一個流量可調節的石英淋浴頭，能夠提供一個統一的蝕刻/灰化模式，並且有一個自動化的校準資產，可以用來快速和方便地設置大小、模式和工藝參數。TCP 9600 SE的腔室由不銹鋼構成，配置了一個提供低壓、高速氣體淋浴的氣動吹風機。氣體淋浴用於均勻地分配蝕刻和灰化產品，以及保護組件免受汙染。該模型還包括幹環和濕環真空設備，確保在整個蝕刻和灰化過程中腔室壓力和溫度一致。TCP 9600SE設計用於各種基板配置。它與鋁、矽、玻璃基板以及不銹鋼、鉑、鎢和硬金等其他材料兼容。高密度聚乙烯、聚酰亞胺、卡普頓等其他底物也可與系統一起使用。該單元設計方便維護和維修，包括一個軟件包，允許操作員監控機器性能，以確保最大正常運行時間。LAM RESEARCH TCP 9600 SE還具有遠程監控功能,允許技術人員訪問數據並根據需要進行調整,以及訪問一個配方庫,以便快速選擇和實施標準流程。總之，LAM RESEARCH TCP 9600SE是一種高效、精確的機器，非常適合將元件蝕刻和灰化成所需的形狀和尺寸。它具有先進的溫度控制、精密處理系統、均勻的氣體分配和可定制的軟件，是半導體器件制造的理想工具。