二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #293595662 待售

LAM RESEARCH TCP 9600 SE 蝕刻器/asher是一個高度可靠和用戶友好的系統,非常適合蝕刻和粉刷各種基板,包括矽、金屬和陶瓷。它能夠生產與集成電路和高級封裝應用兼容的高質量和功能豐富的零件。LAM RESEARCH TCP的先進功能9600SE輕松結合其可靠而強大的性能，產生優異的效果。TCP 9600 SE配備了兼具蝕刻和灰化功能的雙功能腔室，使其成為功能間快速跳躍的完美選擇。它還具有兩級攪拌功能，即使在復雜的蝕刻基板上也能快速穩定地攪拌。TCP 9600SE提供了一個高級級別的過程控制,包括多達八個可編程的配方步驟和各種等離子體驅動模式,以提高過程的靈活性。LAM RESEARCH TCP 9600 SE的自動化監控系統有助於確保配方的準確制造,並具有嵌入式安全功能,適合清潔室操作。它還提供鈍化能力，允許制備低eV氧化物化學計量和低顆粒水平的表面。LAM RESEARCH TCP 9600SE同樣能夠蝕刻深溝，其先進的氟化工藝能夠精確去除電介質，有效消除塵埃顆粒。TCP 9600 SE配備了方便的觸摸屏,能夠處理尺寸不超過12英寸的基板,滿足現代蝕刻工藝需求。該系統還提供極其精確的溫度和壓力控制,使用戶能夠為各種底物創建最佳工藝,從而降低損壞程度。它的自動化過程配方只需要指定一次，消除了繁瑣的設置和對齊步驟。TCP 9600SE管理來自一個中央軟件平臺的所有流程步驟和結果數據,提供對流程配方、診斷、服務和技術支持的全面可追蹤性。因此，它是高效生產用於先進半導體和封裝應用的高批量、高質量零件的理想選擇。