二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #293636060 待售
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已售出
ID: 293636060
晶圓大小: 8"
Etcher, 8"
SECS
Gas panel type: Standard
Etcher type: Stand alone
Robot: Auto loader
Backside helium cooling MFC type: 622A-13224
On-board RF Generators
Endpoint detector
Endpoint type: Photodiode
Fixed electrode gap
ESC Wafer clamp
TCP Coil, 8"
Signal lamp tower
Main On-board AC distribution type: Circuit breaker
Remote AC box
WVDS
Gas box:
(8) Gas lines
Gas line / Gas / Flow
1 / Cl2 / 200
2 / BCl3 / 100
3 / SF6 / 100
4 / N2 / 20
5 / N2 / 500
6 / Ar / 200
7 / O2 / 2000
8 / CF4 / 200
Does not include:
EDWARDS iQ80/500 Etch chamber pump
EDWARDS iQ80/500 Strip / Ash chamber pump
TAITAC DEX-30A Chiller
CE Marked.
LAM RESEARCH TCP 9600 SE是一種先進的等離子體蝕刻設備,具有優異的蝕刻性能和高效率。系統的總腔室長度為73英寸,能夠處理最大尺寸為6英寸的單面和雙面晶片。該室是真空密封的，包括一個水平蝕刻區和一個隔離區，用於控制蝕刻過程中的基板載荷。該裝置還具有溫度控制室，可將晶片的工作環境保持在最佳水平。LAM RESEARCH TCP 9600SE配備了一個完全集成的多工具/站臺、350伏主電源面板和一系列外部歧管，提供靈活的運輸路線和過程氣體輸送（N2、H2、Ar）。該機還采用了高分辨率的感應耦合等離子體源，能夠提供高能密度等離子體具有出色的功率調節，能夠更好地控制過程，提高蝕刻質量。此外,TCP 9600 SE還配備了集成的軟件套件,可為用戶提供對該工具的直觀控制,並允許用戶修改過程參數,例如蝕刻周期的持續時間和等離子功率級別。它還包括自動速度和距離控制、用於真空操作的遠程彈出站、用於精確蝕刻的自動基板配準等多項自動化功能。TCP 9600SE還具有等離子體壓力控制和自動緊急關閉等一系列安全功能,確保人員和設備的安全。
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