二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #293752314 待售
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ID: 293752314
晶圓大小: 6"
Etcher, 6"
Robot type: Shuttle film
Molecular sieve
Gases: CL2, BCL3, O2, HE, SF6, N2, CF4
(2) Chambers: Used for etching and glue remover
Missing parts:
Load / unload index
End point detector.
LAM RESEARCH TCP 9600 SE是一種蝕刻器，或稱為asher，設計用於半導體生產過程。這種蝕刻器是專門為化學、物理和磨料蝕刻工藝而設計的。它是一種全自動濕蝕工具，具有可編程的加工室、液體輸送設備和高度可靠、耐用和堅固的機械系統。它有一個250毫米x 250毫米的加工室，可以同時處理介電和金屬基板。LAM RESEARCH TCP 9600SE配備獨特的噴射淋浴輸送裝置，提供卓越的蝕刻選擇性和均勻的蝕刻結果。它還有一個集成的密封工藝室，能夠快速、高效地潤濕晶圓和蓋板。該工藝室保持在受控壓力、溫度和濕度，以便產生優異的蝕刻效果。此外,TCP 9600 SE還設計了一種先進的控制機器,可在整個過程中精確控制蝕刻參數。此工具可編程為從20多個不同的過程參數點收集數據。然後,這些數據可用於仔細監控蝕刻參數,從而實現優化的蝕刻結果。此外,TCP 9600SE還提供多種安全功能。集成的腔室壓力和溫度傳感器，連同腔室的幹式排氣資產，可以幫助確保人員的安全和產品的完整性。LAM RESEARCH TCP 9600 SE還具有眾多的安全聯鎖，包括工藝室保護和最大流量敏感聯鎖。LAM RESEARCH TCP 9600SE與大多數蝕刻化學體系兼容，包括KOH、TMAH、四乙基氫氧化銨（TEAOH）和氫氟酸。也可與Si、GaAs、氧化鋁等多種基材搭配使用。TCP 9600 SE旨在用於半導體生產過程,提供卓越的蝕刻選擇性、均勻性和安全性。它是為廣泛的基材材料和蝕刻化學設計的，允許優化的蝕刻結果。
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