二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #293757625 待售
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單擊可縮放
ID: 293757625
Etcher, 8"
APM
Bias
Operator interface: Bulk head
Indexer: Hine 38A
715-331131-002 Fixed gao middle chamber
716-330122-003 Plate top ceramic
853-032190-008 TCP Matcher
853-330951-021 Bias matcher
Wafer clamping : ESC (Notch)
RF Generator
Chamber manometer: 3Torr
ALCATEL ATH-1300M Turbo pump
Pressure controller
Main: Vat valve, 64 PM and PM5
MDVX-018 & AC-2 DSQ
DSQ Hinged
DSQ Matcher
Heated paddle
WVDS Manual fill
Chamber heater controller: 12 Loop external anafaze
Orbitally welded gas box: (8) Gases
Closed loop He Cooling: UPC8130 and Tylan CDL-12S13 (20 Torr)
Remote power module: Main 175A Remote
Power module
C/B Hardware
Load station:
Belt type shuttle
Standard edge
Detector
Load lifter.
LAM RESEARCH TCP 9600 SE是一種為高速工藝而設計的蝕刻器或asher，是濕式臺階技術的一種。該蝕刻器可以在單個腔室中執行等離子體蝕刻和灰化等過程，蝕刻和灰化材料分別在同一平臺上交付。9600 SE的標準蝕刻速率為5微米/分鐘,灰度速率高達100微米/分鐘。等離子體蝕刻器采用低頻感應輔助工藝和一致的流速，以確保被蝕刻或灰化材料的均勻性。該單元有一個先進的內置控制器，負責控制等離子體生成過程。控制器通過一系列反饋溫度、壓力和其他條件的傳感器連接到設備，以確保一致的蝕刻或灰化過程。控制器還可以提供等離子體過程的自動化操作，並監控蝕刻或灰化過程中使用的參數。LAM RESEARCH TCP 9600SE的設計與其他濕式臺式蝕刻或灰化系統相比,易於使用和維護。該設備采用人體工程學設計,高度易於調節,可滿足各種用戶需求。9600 SE還具有直觀的用戶界面,可用於輸入蝕刻和灰化參數,從而可以快速調整設置或操作。蝕刻器或灰化器由不銹鋼腔室構成，允許一致和可靠的清潔。腔室以可變功率加熱，以保持一致的蝕刻或灰化溫度。擴展鈴允許在需要額外材料的地方添加額外的蝕刻或灰化球。TCP 9600 SE配備了多功能煙霧罩，用於捕獲蝕刻或灰化過程產生的危險煙霧。引擎蓋的設計易於調節，提供各種氣流配置，以滿足各種危險材料收集需求。總體而言,TCP 9600SE是一種高效的基於濕式臺式蝕刻機或灰化器,旨在高效、經濟高效地運行。對於那些需要高速工藝並且想要使用易於使用和維護蝕刻器或灰燼的人來說，該單元是一個可靠的選擇。
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