二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #293820921 待售

LAM RESEARCH TCP 9600 SE是一種高級蝕刻器/asher,用於實現臨界表面和設備處理。這種先進的蝕刻和灰化設備旨在實現精密晶片陣列設計,最小的生物汙染風險以及最高水平的總體吞吐量和過程控制。LAM RESEARCH TCP 9600SE適用於RTP、蝕刻、脫氧、擴散過程和等離子體灰化等多種應用。TCP 9600 SE由一個帶有四個獨立控制的腔室的單一外殼組成。每個腔室包含一個等離子體源、屏蔽硬件、一個私人晶片升降機和一個大氣凈化控制面板。該系統還具有溫度控制的艙門,以創建一個包含灰塵的環境。它能夠一次處理多達十個晶片，晶片的直徑可達200毫米。該單元配備了幾種先進的蝕刻和灰化工藝，可以單獨定制，以滿足個別應用程序的需求。這包括先進的等離子體控制技術，避免任何直接沈積在敏感芯片區域，並保持均勻的沈積速率。激光輔助蝕刻和灰化以及先進的冷卻系統。這些技術使機器能夠提供出色的精密蝕刻和灰分結果,同時還能控制溫度,從而創建無錨固退火環境。該工具還具有先進的算法，能夠保護晶圓免受汙染問題的影響，優化蝕刻和灰分配方，監測端點和工藝結果的質量。配方的開發是為了最大限度地提高工藝的可重復性和質量而優化的。總體而言,TCP 9600SE是一種功能強大的蝕刻和灰燼資產,可在各種應用程序中提供出色的結果。其先進的特性，如等離子體控制、激光輔助蝕刻和先進的冷卻系統，使模型能夠提供精確和質量的蝕刻和灰化結果。該設備的設計易於使用和維護，並提供最佳的整體處理結果。