二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9095942 待售

LAM RESEARCH TCP 9600 SE是一種高性能的反應性離子蝕刻（RIE）和asher設備,旨在提供緊密的尺寸控制和過程均勻性。該系統具有高容量、集成的工藝室和自動化的負載鎖,使其成為批量生產的經濟高效的解決方案。LAM RESEARCH TCP 9600SE還具有高級工藝控制、多種工藝配方和自動化子系統,使其成為大批量制造應用程序的可靠合作夥伴。TCP 9600 SE具有先進的工藝室,旨在提供高蝕刻速率和卓越的工藝均勻性,同時還提供各種可用的蝕刻和灰化化學。寬敞的腔室還可實現更高的工藝吞吐量和更低的成本。該單元還具有一個完全集成的負載鎖定機，其設計使快速樣品加載。TCP 9600SE還包括高速、自動化的晶片載體和處理工具,可確保在整個蝕刻和灰化過程中提供卓越的晶片保護。LAM RESEARCH TCP 9600 SE配備了先進的過程控制資產,可實現精確的配方控制,以實現最佳的過程一致性和可重復性。此模型提供了多個過程配方,使用戶能夠為其特定應用程序自定義蝕刻和灰化過程。LAM RESEARCH TCP 9600SE的工藝控制設備也考慮到晶圓平整度，以最大限度地提高蝕刻均勻度。TCP 9600 SE具有多種原位監測和計量功能,包括光學對準和光譜發射測量。該系統還設有觸摸屏和圖形用戶界面，允許用戶監控和調整流程參數。TCP 9600SE旨在與大多數可用的蝕刻和灰化化學設備兼容,並配有各種附件,包括用於快速和可重復樣品加載的負載鎖和晶片處理組件。總體而言,LAM RESEARCH TCP 9600 SE是一款先進的蝕刻和灰化設備,具有較高的工藝吞吐量、嚴格的尺寸控制以及卓越的工藝控制和一致性。它的全自動負載鎖機器、多種工藝配方和原位計量功能使其成為大批量工業應用的可靠合作夥伴。