二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9095943 待售

LAM RESEARCH TCP 9600 SE
ID: 9095943
晶圓大小: 8"
Al etcher, 8".
LAM RESEARCH TCP 9600 SE是一款高精度的蝕刻器/asher,專為等離子材料蝕刻而設計。它的高級功能允許精確控制工藝參數,使其成為研究、開發和批量生產的理想選擇。LAM RESEARCH TCP 9600SE提供高分辨率薄膜蝕刻,旨在滿足廣泛行業的高級應用程序的需求。它極快的速度、精確的控制和精確的制圖能力使其非常適合研究和現代制造。該設備采用幹式等離子體操作,支持多種過程,包括低壓或大氣、光學或感應以及大面積或空隙填充。它的自動化晶片加載系統使用戶能夠快速輕松地調整批次之間的過程參數,從而減少了與手動操作相關的停機時間和成本。該單元還集成了復雜的過程監控,與網格切割和故障檢測無與倫比的過程控制。自動調諧功能為可重復結果提供了過程參數的細粒度、叠代優化。TCP 9600 SE還提供出色的熱管理,有助於散熱,防止由於溫度過高而損壞機器中的組件,並提高精度和精度。內置安全功能可保護工具和操作員免受潛在危害,如過壓或電流、高溫以及灰塵或氣體積聚。該資產設計用於在110/220-V交流電源線上運行,並且可以在4類清潔室10/ISO操作。TCP 9600SE解決了與現代蝕刻應用程序相關的各種挑戰,提供了卓越的性能和精確度。其堅固的設計、可靠性和準確性使其成為眾多工業蝕刻應用的首選。
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