二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9095946 待售

LAM RESEARCH TCP 9600 SE是一個先進的蝕刻/asher工藝室，旨在支持半導體器件制造中使用的特殊蝕刻、清潔和鈍化工藝。LAM RESEARCH TCP 9600SE提供精確可靠的晶圓級工藝控制，並配備了最新的半導體工藝室技術，包括先進的工藝控制算法、集成的射頻發生器和先進的軟件。TCP 9600 SE專為半導體器件表面的蝕刻、清潔和鈍化而設計。該腔室配備了溫度和壓力控制、氧氣監測儀、原位腔室清潔、自動流體過濾以及用於精確等離子體蝕刻和活化的先進射頻發生器技術。該工藝室還使用先進的數字工具，如故障隔離技術、可追蹤性和數字混合器/執行器控制，提供先進的材料汙染管理。TCP 9600SE設備提供了先進的工藝控制,可配置為支持多種特殊工藝,包括通過蝕刻、低k蝕刻、低溫濕蝕刻、暗空底殼蝕刻、堆式擴散和通過蝕刻優化的循環時間。該系統還配備了集成射頻發生器，可以精確調整功率水平和等離子體參數，以確保產品質量。LAM RESEARCH TCP 9600 SE能夠處理多達300 mm的晶圓，並配有兩個石英工藝室，一個射頻發生器，一個自動流體過濾單元和一個工藝檢測機。該工具提供全面的安全保護,包括緊急停止和E-Stop按鈕,以終止過程並防止機器損壞。該工藝室還配備了一個先進的軟件包，允許用戶監控資產性能，並以可定制的方式優化工藝配方。軟件還提供全面的模型報告，包括配方信息、元素溫度、氧化劑水平、壓力、射頻功率水平等工藝特性。LAM RESEARCH TCP 9600SE 蝕刻器/asher是為先進的半導體器件蝕刻、清潔和鈍化應用而設計的。其先進的過程控制算法、集成的射頻發生器和數字軟件允許精確可靠的晶圓級過程控制，使其成為半導體工業的重要工業工具。