二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9095947 待售

LAM RESEARCH TCP 9600 SE 蝕刻器/asher是一種高性能、自動化的工藝工具,專為半導體在蝕刻和灰化方面的應用而設計。在金屬蝕刻、各向異性矽酸鹽蝕刻（ASE）、通過地層推進、介電灰化工藝等方面均取得優異成績。LAM RESEARCH TCP 9600SE配備了專用的遠程視覺監控系統,允許用戶從遠程位置監控和評估流程結果。其先進的物理氣相沈積（PVD）源允許更好的膜均勻性和更大的過程控制。TCP 9600 SE包括流體動力壓板,可實現更快、更準確的結果以及更高的工藝吞吐量。此外還有一個綜合的三區分隔制度；高壓低溫加壓聚合物托盤；以及一個加熱蝕刻模塊，用戶可以實現更高的蝕刻速率。此外,TCP 9600SE還集成了許多內部工具和功能,如多功能閥塊和集成真空系統、晶圓跟蹤器和射頻發生器。所有這些功能使LAM RESEARCH TCP 9600 SE成為市場上功能最強大、最可靠的蝕刻/asher系統之一。