二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9134002 待售
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已售出
ID: 9134002
晶圓大小: 6"
Etcher, 6"
Operation system: Classic
Clamp type: E
APM Type: Standard
Stripper type: DSQ
General hardware information:
System requirements: 208V / 3PH / 50 / 60Hz
AC / DC Configuration: 001
Gas box type: Orbital type
Main chamber pressure regulation type:
WVDS Type: Auto
DSQ Type: Hinged
TMP Options:
TMP Type: A1 1300M
Endpoint detection options: 261 / 703
Endpoint window type: Non HTD
Monochromator hard structured: N
Lam standard remote AC box: No
CR Configuration:
Ballroom: Bulkhead
Mini environment: No
Factory automation configuration:
Open cassette: 6"
Miscellaneous configuration:
Remote user interface: Yes
XLL Wafer sensor: Yes
Vacuum / RGA Check port: Vacuum check port main chamber
Manuals: No
Pumping system options: No
Mainteinance tool kits: No.
LAM RESEARCH TCP 9600 SE是一種蝕刻器/asher,專為精確、可重復地清潔腔壁和其他需要精確、可控清潔的表面而設計。它利用一個非金屬噴霧設備創造一個精確的，重復均勻的清洗過程。該系統能夠精確覆蓋和精確可重復清洗，其結果始終準確可靠。LAM RESEARCH TCP 9600SE的專利技術采用脈沖噴嘴，將液體的流動限制在極細的粒徑，產生的噴霧模式比市場上任何其他單位都要精細得多。這創造了一種可重復和精確的覆蓋模式，能夠以更高的精度覆蓋更高的腔壁區域。該機還具有獨特的噴塗機構，利用陽極氧化蒸氣，允許一致和精確的清潔表面需要它。TCP 9600 SE配備了多項安全功能,以確保清潔過程安全高效。其中包括耐磨材料，以及一個內置的屏風，以防止徑流和包含過程中產生的任何氣溶膠。該工具還配備了自動關閉功能，以防清潔溶液流動中出現計劃外停止，防止設備或腔壁受到任何潛在汙染。TCP 9600SE還具有一系列高級控制功能。這包括可調節的噴霧設置以確保精確和可重復的覆蓋範圍,以及能夠設置多個不同設置的清潔周期以適應不同的表面和清潔要求。該資產還能夠對噴塗工藝進行自動重新校準，減少對手動校準的需求，提高模型性能。最後,LAM RESEARCH TCP 9600 SE是一種能夠精確、可重復清潔需要精確和可控清潔的腔壁和其他表面的蝕刻器/灰化器。它具有獲得專利的技術,可創建非常精細且可重復的覆蓋範圍,以及安全功能和高級控制,以實現可靠和一致的結果。LAM RESEARCH TCP 9600SE結合了高性能和安全特性,是尋求精確可靠的清潔工藝的理想選擇。
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