二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9153019 待售
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ID: 9153019
晶圓大小: 8"
優質的: 1996
Etcher, 8"
SMIF Indexer
Auto loader
Auto fill WVDS & hinged DQS
SEIKO SEIKI STP-H1000L Turbo molecular pump
1996 vintage.
LAM RESEARCH TCP 9600 SE 蝕刻器/asher是一種用於半導體材料蝕刻/灰化的高性能、經濟高效且可靠的工具。該機器能夠使用基於直流電(DC)或射頻(RF)的光源在平面和垂直蝕刻區域內進行蝕刻/灰化。蝕刻器的加工室由不銹鋼構成,為處理敏感和重圖案的半導體晶片提供了一個穩定和安全的環境。9600 SE配備了強大的可編程電機和風扇控制,允許在蝕刻/灰化過程中對工藝條件進行精確、精確的控制。設備使用先進的氣體/真空源在整個晶片表面提供均勻一致的蝕刻/灰分剖面。可以配置不同的氣流和壓力以滿足廣泛的蝕刻需求,從而實現高度控制。此外,蝕刻器配備了不同的電極,允許根據被蝕刻的材料施加不同的動能,使機器達到一致的高性能水平。9600 SE的精密ashing功能允許對高縱橫比特性進行極其精確的ashing。該系統的高級工藝室旨在最大程度地減少表面損傷,優化蝕刻/灰化工藝。此外,蝕刻器具有先進的自動化晶片傳輸單元,允許高速晶片處理,最短的等待時間。9600 SE的編程功能為用戶提供了對蝕刻/灰燼過程的完全控制,自動化過程可實現高吞吐量,而不會影響質量。該機器配備了頂級安全功能,包括熱成像和氣流分析等各種監測系統,確保操作員在任何潛在問題變得關鍵之前就意識到這些問題。此外,該工具還利用智能數據收集和存儲軟件,使用戶能夠輕松地監控和控制流程參數。LAM RESEARCH TCP 9600SE 蝕刻器/asher是一種用途廣泛、可靠且經濟實惠的蝕刻/蝕刻解決方案,非常適合高性能、高通量的應用。9600 SE憑借其先進的編程能力、先進的工藝能力和全面的安全功能,是蝕刻/灰燼應用的絕佳選擇。
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