二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9153545 待售

LAM RESEARCH TCP 9600 SE是一種最先進的蝕刻器/asher。它設計用於等離子體蝕刻和濕法化學蝕刻/灰化過程。這臺機器非常適合先進的工藝應用，如臨界膜、硬面膜殘留物和特殊膜。它具有模塊化、統一、氣密的腔室，允許它進行RIE、ICP和等離子體蝕刻，以及濕式化學蝕刻和灰化。本機配備了多種工具，包括層流、大容量真空泵、高頻射頻發電機和高分辨率蝕刻控制系統。這使得它能夠以卓越的一致性、準確性和可重復性執行各種不同的蝕刻過程。它的壓力控制也允許高精度的過程控制。LAM RESEARCH TCP 9600SE也有一套自動化配方選項，允許用戶在不需要編程的情況下快速設置並運行批處理。此外，它還配備了一系列自動監測和控制系統，包括工藝端點探測器和對工藝參數的自動調整。TCP 9600 SE還具有業界領先的安全功能。其中包括限制訪問機器某些區域的操作員界面、在臨界功能溫度、氣壓或其他工藝參數的情況下自動關閉以及集成的雙重啟動系統。此外,它還配備了制造商的強大維護計劃,包括定期預防性維護、延長保修以及售後服務和支持。這讓客戶心目中，他們的投資在未來幾年都會得到很好的照顧。TCP 9600SE是任何進行蝕刻/灰化過程的實驗室的絕佳選擇。它結合了卓越的技術、智能的操作特性以及售後服務和支持,使其成為任何設施的理想選擇。