二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9169594 待售

LAM RESEARCH TCP 9600 SE是一種先進的蝕刻/asher設備,非常適合研究和工業應用。該系統具有全球條件，包括一個氮循環利用支架，以達到最佳性能。LAM RESEARCH TCP 9600SE是一種單晶片蝕刻和灰化裝置，工藝範圍高達12種氣體，線性速度從0.25 nm/min到1.0 nm/min。它提供了從-20°C到+20°C的全溫度控制，從而提供了研發新工藝所需的靈活性。TCP 9600 SE具有獲得專利的線性速度剖面（LVP）控制,可提供卓越的工藝一致性和最小的晶圓翹曲。為了便於操作,TCP 9600SE具有用戶友好的觸摸屏界面和多種語言選項。它提供了配方和關鍵參數的圖形表示，使配方的操作和驗證快速而高效。再者，LAM RESEARCH TCP 9600 SE可以在開始運行前模擬多個過程參數，從而消除猜測，減少完成時間。LAM RESEARCH TCP 9600SE 蝕刻器/asher還提供了高度定制模板形式的額外靈活性。這允許用戶擁有廣泛的腳本，以幫助自動化和簡化機器的操作。在安全性方面，TCP 9600 SE附有主動等離子體鎖，在超過過程參數或檢測到異常的情況下自動關閉等離子體。這對於保護研究人員免受危險排放至關重要。該工具還配備了緊急關機（ESD）資產,可用於在發生緊急情況時關閉機器。總而言之,TCP 9600SE是一種非常適合研究和工業應用的高級蝕刻器/asher模型。其用戶友好的界面和高度可定制的模板使其易於操作,而其高級安全功能為用戶提供了最大程度的保護。