二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9197777 待售

LAM RESEARCH TCP 9600 SE是一款最先進的蝕刻器和灰化器,具有高效、可靠的蝕刻和灰化性能。該設備采用高度可重復的自動化流程,可提供快速、準確的結果以及易於使用的控制。LAM RESEARCH TCP 9600SE旨在滿足最苛刻的生產和研究環境中的大容量吞吐量要求。該系統具有自動盒式磁帶處理和高效的負載處理功能,可實現快速一致的生產。TCP 9600 SE具有高通量容量，允許每個卡帶最多8個基板，最大卡帶容量為96個基板。該裝置的低交叉汙染和低基板沈積速率提供了一個高度可重復和穩定的蝕刻和灰化過程。TCP 9600SE配備了一個獨立的工藝室,便於交換和連續清潔。該工藝室與一步烘烤工藝集成在一起，最大限度地減少了停機時間，並允許最大的正常運行時間和吞吐量。機器具有高級診斷功能,允許實時監視過程。該工具的精度是無與倫比的,在蝕刻和灰化過程的所有步驟中,可重復性和精度均在3%以內。集成工藝可防止不必要的蝕刻,提供極低底物沈積的高度輪廓。LAM RESEARCH TCP 9600 SE能夠對多種材料進行蝕刻和灰化，包括ArF、IBE和具有不同電阻率的晶片的深度蝕刻。總體而言,LAM RESEARCH TCP 9600SE在高效和受控的環境中提供出色的蝕刻和灰化性能。TCP 9600 SE具有可定制的平臺和穩定的流程,旨在滿足任何研究或生產環境中的最高生產率、吞吐量和準確性標準。