二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9197974 待售

LAM RESEARCH TCP 9600 SE是為滿足當今半導體行業快節奏和具有挑戰性的需求而開發的高性能、自動化的蝕刻器/asher設備。它提供了快速的周轉時間、高精度的蝕刻結果以及高級工藝控制功能,旨在滿足現代生產應用程序的所有需求。LAM RESEARCH TCP 9600SE專為卓越的吞吐量而設計,可處理多種材料,包括金屬、金屬氧化物、矽和其他介電膜。其可控的等離子體源在一個有維度、均勻性控制的加工環境中實現了高質量的蝕刻結果。其動態氣流定位控制著從源頭到底物的等離子體，最大限度地減少了不必要的消耗，實現了有針對性的蝕刻速率。TCP 9600 SE配備了創新的氣體減排系統，利用先進的過濾器最大限度地減少室內環境中揮發性有機化合物的存在。該單元對於確保安全和合規的流程環境至關重要。TCP 9600SE還采用額外的安全措施,如氣體聯鎖和外部壓力傳感器,以確保人員得到最大限度的保護。機器的高級過程控制功能確保在整個生產過程中具有最高水平的可重復性和產量。該工具提供的集成軟件套件可實現實時流程監控和數據收集以及流程後文件分析和報告。此外，板載晶片映射資產允許在多個晶片上同時進行自動阻抗和基於圖像的過程參數，以進行整個過程監督。最後,經過行業驗證的紅外工藝頭允許進行非詳盡的晶圓運動和更長的晶圓運行時間,這將轉化為質量、吞吐量和產量的不妥協水平。LAM RESEARCH TCP 9600 SE提供了最高級別的精確度和高效的過程控制,並進行了嚴格的安全檢查,在蝕刻器/灰燼技術方面提供了無與倫比的功能和可靠性。它是那些需要可靠、可擴展和有利可圖的解決方案來滿足半導體行業不斷變化的需求的人的理想模型。