二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9205199 待售

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ID: 9205199
晶圓大小: 8"
優質的: 1995
Etcher, 8" Chiller: 650 x 550 x 1120  Dry pumps: 650 x 1280 x 1300 Remote power module: 700 x 640 x 1850 On-board AC Dist Type: Circuit breaker (2) On-Board RF generators: Onboard: SML-1250PBC (Sunsay) Onboard: SML-1000DSQ (Sunsay) Main process module (PM1): 9600 Wafer clamp Electrode gap: Fixed gap TCP Coil: 8” Turbo pump: BOC EDWARDS Turbo control: BOC EDWARDS (STP1000L) Gate valve: VAT 64 (Heated) Heat exchanger / Chiller: TAITEC CH-800B Gas line Gas 1 BC13 2 C12 3 N2 4 SF6 5 Ar 6 O2 7 CF4 8 O2 Dry pumps: EBARA A70W-N EBARA A80W EBARA AA40W EBARA A70W 1995 vintage.
LAM RESEARCH TCP 9600 SE是一種用於半導體生產應用的最先進的蝕刻器和灰化器。此產品采用高效、集成的設計,使其與其他蝕刻和灰化過程區分開來。LAM RESEARCH TCP 9600SE使用高功率、高頻的射頻等離子體,快速蝕刻和清除半導體晶片表面上不需要的材料。該裝置采用先進的等離子體源、精密電極設計和多腔操作,即使在具有挑戰性的應用中也能提供可重復和可靠的性能。TCP 9600 SE的最大灰度/蝕刻速率高達每小時60個晶圓。由於其快速循環的時間和高吞吐量,TCP 9600SE可以在半導體生產中產生最高的產量。它的模塊化系統配置允許靈活集成額外的組件和設備,允許用戶自定義設備以滿足其特定的生產需求。LAM RESEARCH TCP 9600 SE為用戶提供了廣泛的過程參數以獲得一致的結果。這樣,廠家就可以期待高重復、高可靠的優質晶片生產。用戶可以將設備配置為以不同的深度和不同的蝕刻速率蝕刻和灰燼,從而允許他們根據特定的晶圓和層定制工藝。所有這些功能都以緊湊的設計為基礎,能夠實現高空間性能比。LAM RESEARCH TCP 9600SE是大多數空間關鍵型應用的理想選擇。它也是安全的操作,得益於其低壓等離子體源和內置的輻射防護功能。這樣可以縮短維護時間並提高工人的安全性。TCP 9600 SE以其先進的功能、令人印象深刻的蝕刻和灰化性能以及快速的循環時間而令人印象深刻,以最大限度地提高產量。LAM RESEARCH蝕刻器和asher具有精確、可重復、可靠的結果,是復雜半導體生產應用的理想選擇。
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