二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9211769 待售

LAM RESEARCH TCP 9600 SE是一種先進的基於等離子體的Asher/Etcher設備,專為聚合物和其他薄膜的沈積而設計,可用於多種用途。LAM RESEARCH TCP 9600SE能夠在晶片上進行高端蝕刻、蝕刻速率測量和熱回流。該系統的核心技術是「反應性離子蝕刻」（RIE），它結合了離子轟擊的物理效應和氣相能量轉移的化學效應，產生高度各向異性的蝕刻剖面。此外，該股還包括一個ULTRAWATER模塊，以可靠、可重復的方式提供高純度的去離子化加工水。TCP 9600 SE利用最新技術使結構和材料的精確蝕刻成為可能。它配備了具有可編程掃描矢量的高精度工藝室，以實現卓越的工藝控制。該機還具有高速等離子體源（用於快速蝕刻循環）、低蒸氣輸送工具（用於清潔蝕刻）和特殊氣體輸送資產（用於隔離用戶和環境中的蝕刻氣體）。為了確保安全可靠的運作，該模型包括若幹安全特征，如自動壓力調節、空氣/氣體泄漏檢測、凈化氣體控制以及火災和氣體探測/抑制系統。TCP 9600SE是下一代LAM RESEARCH Asher/Etcher設備的一部分,提供卓越的性能和可靠性。該系統為用戶提供了一系列優勢,例如更好的過程控制、卓越的一致性和更大的吞吐量。該單元非常適合晶圓級封裝應用和其他高級IC處理應用。