二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9228025 待售
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ID: 9228025
晶圓大小: 8"
Etchers, 8"
Control system: EnVision
CPU: 586 Processor
HINE 38A Indexers
Process chamber:
Ceramic TCP window
Endpoint detection, 853-001983-011
Heated endpoint window
Process kits, 6"
6" ESC Semi / Major / No minor
No chamber liner set
SEIKO SEIKI STP-1000 Turbo pump, 1000L/S
No turbo pump interlock board
Pendulum gate valve: VAT65
Vat gate valve controller: PM7
Main chamber manometer: 100mt
Turn RF coil: 6 Turns
DIP-PCB RF Tuner
Helium back side cooling
Gas
DSQ Chamber:
Hinged DSQ stripper
WVDS
Gas type and flow configuration: O2, CF4, H2O
Heated paddle, 6"
Quartz, 6"
Manometer: 10 Torr
Throttle valve pressure controller: MDVX
Auto fill WVDS temperature controller
Auto fill WVDS controller
Chemraz o-ring
APM:
Ambient and hot water: 70°C
Nitrogen gas blow dry
APM DI Water heater controller
APM DI Water nozzles
Others:
On-board 1250W generators: (3) RFG 1250
9600SE EnVision manual
No chiller
No dry pump.
LAM RESEARCH TCP 9600 SE是為半導體基板精密蝕刻和灰化而設計的下一代蝕刻/灰化工具。其先進的工藝技術提供了卓越的性能和長期的可靠性,使其能夠用於生產環境和研究實驗室。LAM RESEARCH TCP 9600SE利用雙面石英催化劑板，即「蝕刻板」，其中含有小的陶瓷顆粒，以產生均勻分布的水性反應物和氣體。然後將蝕刻板暴露在真空壓力環境和射頻（RF）功率下，使反應物充滿能量，並迅速將其驅動到基板中。該工具配備了高度可定制的軟件和硬件平臺，可精確控制空間均勻性和電源設置。TCP 9600 SE具有以下功能：它與多種基板尺寸和形狀兼容,使用戶能夠在2 cm x 2 cm到12 cm x 12 cm的碎片上進行蝕刻和灰燼處理。它還提供了廣泛的壓力、溫度和反應氣氛供選擇。它還具有氣流控制系統和水處理等幾個附加功能，便於安全運行。總體而言,TCP 9600SE是為半導體應用而設計的精密蝕刻和灰化工具。其先進的流程技術和可定制的軟件設置提供了卓越的性能,同時降低了運營成本和時間。通用的尺寸選項和自動化的環境控制確保了安全有效的蝕刻和灰化過程。LAM RESEARCH TCP 9600 SE具有長期的可靠性,是任何蝕刻/灰化應用的理想選擇。
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