二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9228027 待售

LAM RESEARCH TCP 9600 SE是一種高縱橫比等離子體灰燼/蝕刻設備。它是一個基於Macrosolver的TCP技術的熱和化學等離子蝕刻系統。這種蝕刻裝置提供了精確的模式傳遞和優越的地形優化.它能夠生成深度大於10微米、高縱橫比特征尺寸的蝕刻輪廓。LAM RESEARCH TCP 9600SE還具有通過分子粘附實現低接觸電阻的能力。TCP 9600 SE最適合具有高縱橫比和高縱橫比特征尺寸的高級材料和工程應用。它是先進制造、汽車、電力電子和材料應用的完美機器。它具有高長寬比、低接觸阻力的特點，是一種適合客戶要求精度和速度的多功能蝕刻沈積機。TCP 9600SE具有三個獨立的反應物氣體輸送源室和一個用於精密蝕刻的大型5目標高純度射頻發生器。直徑4英寸的輻射隔離高純度石英工藝室保證了最高的均勻性，低顆粒水平和快速的工藝恢復時間。先進的高分辨率視頻成像工具允許對工藝窗口晶圓逐個晶圓進行完全控制。此外，集成的雙槍陰極電弧技術提供高純度Ti、TiN、AlN、Al2O3和PVD硬鉻/鈷的均勻高效沈積。LAM RESEARCH TCP 9600 SE配備了LAM專有的過程控制工具（PCT），實現了可重復、可預測的過程性能的充分體驗。該工具對電弧沈積均勻性、電流和功率控制、嵌入式統計過程控制過程診斷工具（PDT）以及用於多氣體輸送的高級源氣體管理提供了有效的控制。LAM RESEARCH TCP 9600SE配有用於加強源氣隔離的多真空門資產和用於改進氣流控制的更大源氣歧管。一系列獨立的吞吐量選項可用於滿足自動化環境中的各種流程吞吐量需求。相容的部分範圍從400毫米底物與任何形狀，低分子沈積和先進的金屬蝕刻。TCP 9600 SE兼容WADD和SFT格式、SECS/GEM、ProdLink和軟件遠程數據訪問協議。此外，這一模式符合歐洲經委會、UL、IEC和CSA等最新安全條例。