二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9228028 待售

LAM RESEARCH TCP 9600 SE是一種半導體蝕刻/灰化設備，為最佳性能和便利性而設計。它為各種電介質、金屬和其他材料提供全自動蝕刻/灰分工藝。該系統使用標準蝕刻/灰分配方預先編程,以便在創建一批獨特功能時提供一致性和靈活性。LAM RESEARCH TCP 9600SE配備了多頭輸送機單元、多通道控制機、高速晶圓映射工具等先進功能。多頭輸送機資產既利用滾筒輸送機，又利用聲傳輸子系統。滾筒輸送機的尺寸可調節，以容納各種尺寸的晶片。聲學傳輸子系統的設計目的是在沒有任何機械接觸的情況下以非接觸配置傳輸晶片。滾筒驅動器將減壓空氣供應到密閉腔室，使晶片在腔室內「浮動」。聲波傳輸子系統由超聲波振蕩器驅動，驅動晶片通過振動管產生的聲場。TCP 9600 SE配備了多通道控制模型，用於控制工藝參數和晶圓映射。光學映射的晶片映射允許將晶片精確定位在支持的盤片上。多通道控制設備還允許跟蹤實時蝕刻和灰化進度，確保蝕刻/灰燼室條件在整個過程中保持最佳狀態。集成到單元中的高速晶圓映射系統由激光供電，使得晶圓能夠快速映射到支持的盤片上。存儲的映射數據用於監視蝕刻和灰化過程的狀態。制圖機能夠精確地定義每個晶片的精確尺寸及其在支撐盤上的相應位置，精度高達5微米。TCP 9600SE是一種功能強大的蝕刻器/asher,可精確控制整個蝕刻和灰化過程。它能夠對各種材料進行高速映射和精確蝕刻/粉刷。它的自動化過程和精確控制工具確保了一致和可靠的結果。LAM RESEARCH TCP 9600 SE是高批量生產精密微電子零件的理想資產。