二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9235586 待售

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ID: 9235586
晶圓大小: 8"
優質的: 2000
Etcher, 8" Main process module (PM1): TCP 9600SE Metal etch Pedestal type: Wafer clamp: ESC With He cooling Electrode gap: Fixed gap Casette interface: (2) Hine 38A indexers Gas box configuration: Orbitally welded gas box Backside helium cooling: Unit MFC (50 sccm) Gas line # / Gas / Flow (sccm) / MFC Mfgr / MFC Model 1 / N2 / 100 / Unit / 1600 2 / O2 / 100 / Unit / 1600 3 / N2 / 10 / Unit / 1600 4 / CL2 / 100 / Unit / 1660 5 / BCL3 / 100 / Unit / 1660 6 / SF6 / 100 / Unit / UFC-1200A H2O 500 TYLAN VC-4900VRH CE Marked 2000 vintage.
LAM RESEARCH TCP 9600 SE是一款用於半導體制造行業的強大蝕刻器。它是一個功能齊全的平臺,涵蓋了整個蝕刻過程,從晶圓加載到過程控制、產品清潔和排放監測。該設備采用LAMAX氣體輸送系統,在高達60毫巴的壓力範圍內運行,從而能夠精確控制蝕刻過程。該機器能夠蝕刻最大晶圓尺寸為200毫米的基板,每晶圓的加工時間在3至30分鐘之間。LAM RESEARCH TCP 9600SE包括高級軟件組件,使其能夠分析工藝參數並實現高精度蝕刻。這些組件包括基於光的探測器、電容電壓掃描單元和高通量氣體傳感器。使用這臺機器,用戶可以調整工藝參數以獲得所需的蝕刻結果。此外,該工具能夠準確監測氣體流量,以保持最佳蝕刻環境。TCP 9600 SE還包括內置診斷程序和工具,使其能夠監視其性能。該機器利用先進的熱控制資產,最大限度地提高吞吐量,同時最大限度地減少浪費和排放。它還具有觸摸屏界面,可訪問模型的所有功能。此外,蝕刻器還配備了精密的石英塗層設備,有助於保持腔室清潔並防止對腔室環境的汙染。TCP 9600SE是一種高效的蝕刻器,它為半導體制造行業的用戶提供了精確調整蝕刻過程的能力。該機具有強大的軟件組件、出色的構建設計和先進的工具,為半導體制造商提供了獲得高質量蝕刻結果的有效方法。
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