二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9244726 待售

「LAM RESEARCH TCP 9600 SE」是專門為半導體晶圓蝕刻應用而設計的蝕刻器式設備。該系統旨在提供最佳工藝參數和一致性,確保結果一致。它以最高的準確性、可重復性和工藝可靠性為當今先進結構化設備的蝕刻提供了生產中最高的吞吐量。LAM RESEARCH TCP 9600SE是一種盒式加載、功能齊全的設備,它提供自動晶片加載、晶片映射和帶有統計過程控制機的晶片識別。這使用戶能夠完全控制蝕刻過程,從配方選擇到實際處理。泵是一種旋轉式葉片泵，為工具提供可靠一致的運行壓力。蝕刻器使用高功率微波發生器加熱加工氣體，包括氯化合物，使氣體電離，並電濺射要蝕刻出晶片的材料。氣體清洗資產從工藝廢水中消除亞微粒和雜質，以保護實驗室環境。模型具有冷卻孔,可將晶片冷卻至所需溫度,以完成蝕刻過程。TCP 9600 SE還包括高級控制系統。其中包括石英窗溫度控制設備、自動閥門控制系統和基板溫度控制單元。石英窗溫控機確保工藝室內氧氣分壓一致，促進了均勻蝕刻速率。自動閥門控制工具確保過程氣體的安全和一致的關閉。基板溫度控制資產防止不穩定薄片或化學物質在晶片上形成。蝕刻機中還包括先進的防過度填充模型。該設備可防止化學儲層過填充，確保安全和一致的蝕刻過程。TCP 9600SE專為與各種晶片兼容而設計,包括絕緣體矽（SOI）、單層和雙層。該系統設計用於潔凈室環境，包括耐化學物質隔離罩，並符合NFPA 495、NFPA 497、EC指令94/9/19和ISO 9001/14001等多項安全標準。LAM RESEARCH TCP 9600 SE蝕刻器式單元是一種先進的蝕刻機，具有最佳的蝕刻工藝參數、可重復性和可靠性。此工具確保了一致和安全的蝕刻過程,可用於各種半導體材料和清潔室設置。