二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9268139 待售

LAM RESEARCH TCP 9600 SE是針對多種基材的先進蝕刻解決方案，包括半導體和石英材料，以及其他特殊材料。LAM RESEARCH TCP 9600SE由最先進的Windows操作設備提供支持,能夠快速輕松地連接到其他外圍設備。反應性離子蝕刻（RIE）技術利用一束主動的全局離子束，將精確蝕刻的特征打造成多種底物。該系統的高級控件提供了氮化物蝕刻和光刻剝離功能,並具有廣泛的可自定義參數以獲得最佳效果。易於使用的控制界面允許對諸如蝕刻速度、溫度、氣流和腔室壓力等參數進行簡單的編程。蝕刻機有很大的設備足跡，允許整合到更大的生產線中，而它的夾具多功能性使它能夠處理各種基板。9600 SE配備了先進的射頻發生器，提供幾乎所有所需表面幾何形狀的均勻蝕刻。發電機保持符合嚴格的RIE阻抗控制,以確保一致的蝕刻結果.它還具有等離子體清潔能力，允許去除有機殘留物、表面氧化物層和金屬氧化物層。這使設備能夠將元件刻蝕到非常高的精度水平。TCP 9600 SE具有精密的真空室，提供超穩定且可重復的蝕刻性能。該腔室是為RIE定制設計的，具有先進的真空泵機和單晶菱形塗層在所有腔壁。這樣可以確保最佳的蝕刻精度和可重復性。此外,9600 SE還配有電光拋光室壁,可延長使用壽命,獲得最佳蝕刻質量。總體而言,TCP 9600SE是一種精密的蝕刻工具,旨在提供極致的精確度和可重復性,並減少用戶的參與。其先進的RIE技術和集成的射頻發生器，為各種元件和基板提供了高水平的蝕刻精度。其單晶金剛石般的塗層和電光拋光的墻壁確保了無與倫比的真空和可重復性性能，而其集成的Windows操作資產則確保了快速輕松的模型連接。