二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9300195 待售

LAM RESEARCH TCP 9600 SE是一種工業級蝕刻器，經過優化，可用於半導體工業。它旨在以極高的精度和可重復性將復雜的結構快速蝕刻到各種基板中。該機器的標準版本采用了新一代工藝控制軟件和硬件，為不同的蝕刻和灰化工藝提供了更好的均勻性和生產率，包括反應性離子蝕刻（RIE）、電化學蝕刻（ECE）和等離子體蝕刻（PE）。該機還包括惰性氣體輸送系統，確保蝕刻或灰分工藝的最佳均勻性和質量。LAM RESEARCH TCP 9600SE采用最優質的材料構建,在惡劣的制造過程中提供可靠的性能和延長的使用壽命。基板加熱器（SH）的工藝室溫度範圍為25至400°C，允許各種蝕刻和灰分工藝。此外,TCP 9600 SE還包括X-Y-Z驅動器系統,最大水平速度為800毫米/秒,垂直速度為600毫米/秒,為所有金屬和非金屬提供快速、精確的蝕刻。TCP 9600SE可用於全場、直寫蝕刻、平面集成電路（IC）等過程化學，如用於千兆位內存設備的。此外，對該機進行了優化，使其在離子植入和金剛石推動切割方面具有優異的性能，使其適用於要求苛刻的電子和光伏設備生產類型。蝕刻器和灰化器允許操作各種氣體，包括O2、H2、He和CH4，以及高濃度的Ar、HCl、SiCl4和NH4HF2。LAM RESEARCH TCP 9600 SE還與過程監控設備完全集成，用於捕獲實時氣體和真空測量。隨附的操作人員HMI（人機界面）具有多種語言支持，設計方便操作和故障排除。對話驅動菜單為用戶提供設置和控制計算機所需的所有信息。LAM RESEARCH TCP 9600SE是為工業用途而設計的先進蝕刻和灰化器,能夠提供卓越的蝕刻和灰分效果。憑借其堅固、易於使用的操作和先進的工藝控制，是要求苛刻的蝕刻和灰燼生產工藝的絕佳選擇。