二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9300197 待售

LAM RESEARCH TCP 9600 SE是一種為制造高精度微電子元件而設計的先進蝕刻/asher設備。該系統由最先進的組件和功能強大的軟件構成,可促進可靠、可重復和準確的結果。它非常適合需要高精度和重復性的晶圓蝕刻應用。LAM RESEARCH TCP 9600SE是高度模塊化的,可以根據特定需求進行配置。該單元的所有組件都是可定制的，包括等離子體腔室大小和類型、電鍍選項、真空系統和加熱元件。這使得它能夠適應廣泛的蝕刻過程。該機基於模塊化、多檢流計的光學設計，可實現更高的吞吐量、準確性和可重復性。該工具還配備了多種RF和DC電源、多個源腔以及其他能夠實現優化蝕刻速率和均勻性的組件。它還包括一個獨特的等離子體註入技術，以實現最大的蝕刻性能，以及廣泛的過程控制選項，以幫助實現可靠和一致的結果。該資產還具有兩級安全互鎖模型、脈沖光譜蝕刻（PSE）、過程控制站、基於軟件的控制設備以及高速數據采集和分析子系統。這些組件使TCP 9600 SE能夠精確蝕刻低至1/20微米的特性。總體而言,TCP 9600SE是一個通用的高級蝕刻器/asher系統,旨在提供可靠、準確和可重復的結果。其模塊化設計使其具有高度可定制性，其高級組件使其能夠實現精確的結果和過程控制。此外,它的安全聯鎖單元和其他組件有助於確保在任何時候安全運行。這使得LAM RESEARCH TCP 9600 SE能夠適合於廣泛的蝕刻應用，從研發到大規模生產。