二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9410050 待售

LAM RESEARCH TCP 9600 SE是一種靈活、經濟高效的蝕刻（或asher）設備,專為滿足設備級工藝技術要求而設計。該系統適用於廣泛的工藝參數，包括孔、溝、噴嘴、嵌入溝、高長寬比和電介質。憑借其先進的控制包,該設備提供了卓越的控制、速度和準確性,同時最大限度地減少了汙染,並消除了對昂貴的基於過程的配方的需求。LAM RESEARCH TCP 9600SE使用直流等離子體源,可以實現高水平的蝕刻選擇性和均勻性,以及高蝕刻速率。此蝕刻器能夠處理小的幾何形狀和特征,包括2D和3D特征,如孔和溝槽,具有出色的產量和可重復性。此外,集成的X-Y運動機器允許精確分析和調整特征。可以調整高精度運動控制工具，以確保特征形狀和尺寸的均勻性。蝕刻器還具有先進的技術特點，如集成晶片清洗洗滌、先進的壓力和流量控制，以及獨立的熱區控制。其專有的先進ChamberView技術進一步提高了其工藝精確度和準確性，使關鍵的現場工藝監測能力成為可能。此外,集成的高級工藝調整模式（PTM）提供了卓越的精度和工藝控制.TCP 9600 SE適用於一系列流程,包括前端線路（FEOL）和後端線路（BEOL）流程。它可以處理復雜的結構,蝕刻窗口的範圍從0.3 μ m到150 μ m不等,具體取決於材料的類型和工藝要求。此外，蝕刻器有一個內置的電沈積和蒸發過程，以允許金屬和介電層沈積相同的過程。總之,TCP 9600SE蝕刻器是一種經濟高效且可靠的資產,可以滿足最苛刻的設備級工藝技術要求。該模型提供了出色的蝕刻選擇性、均勻性和準確性,以及提供卓越的過程控制和過程監控功能的先進技術。