二手 LAM RESEARCH TCP 9600 #148436 待售

LAM RESEARCH TCP 9600是一種先進的蝕刻器/asher設備,專為先進的微加工工藝而設計。它提供了溫度和工藝參數的精確控制，使精細基板的蝕刻和灰化，同時保持精確的溫度和工藝參數。LAM RESEARCH TCP9600系統基於氣團離子源，內置在單元中，提供精確、低電壓、大電流的電源。此外，機器還設計了兩個可移動的晶片支架，設計用於後蝕刻和後灰應用，以提供工具的靈活性。持有人設計的晶圓尺寸可達200毫米，可容納0.2到0.6kV之間的工藝配方。該資產還具有溫度和散熱控制能力，可以在蝕刻或灰化操作中限制基板的溫度。這一特性對於盡量減少因高溫造成樣品損壞的可能性也很重要。該模型配備了一種惰性氣體大氣，通過反應大氣中的物質來防止底物受到汙染。它可以根據用戶指定的配方提供受控參數。TCP-9600還具有高級編程功能,允許用戶指定蝕刻參數、選擇氣體、啟用/禁用和選擇氣流、啟用/禁用超高頻電源以及啟用/禁用群集和束離子控制。用戶甚至可以設置單個蝕刻和灰燼參數。最後,TCP 9600的設備軟件提供了一個直觀的用戶界面,用於配置和監視蝕刻和灰化操作。總體而言，LAM RESEARCH TCP-9600是一個高品質的蝕刻/灰化系統，提供精確的溫度和過程控制。它的高級特性使它能夠在各種各樣的基板上創建高質量的結構和圖案，使其成為先進的微加工工藝的理想解決方案。