二手 LAM RESEARCH TCP 9600 #293762298 待售
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ID: 293762298
晶圓大小: 8"
Metal etcher, 8"
(3) RFG 1251 Generators
ADIXEN / ALCATEL 1300 Turbo pump
ADIXEN Turbo controller
VAT 65 Gate valve
VAT PM-7 Controller
ESC Clamping
Dual endpoints: 703 nm and 520 nm
Bulk head mounting
Hine indexer
Closed loop
RF Match: Upper TCP, lower mini match, DSQ Match
DSQ Hinged
WVDS Auto fill
STEC 7440 MFCs
APM: Standard
Gases:
Gases / SCCM
CL2 / 200
BCL3 / 100
SF6 / 100
N2 / 50
N2 / 1000
AR / 100
O2 / 1000
CF4 / 200
H2O / 500.
LAM TCP 9600是一種工業蝕刻器/asher,設計用於高通量半導體制造中的精密蝕刻/灰化。它利用直觀的用戶界面提供一流的控制、準確性和可重復性。該設備配備了最先進的光學對準系統,可確保精確的蝕刻和灰化執行。該設備采用高分辨率、高速的數字成像儀,可捕獲最高質量的圖像。它還包括先進的光學和軟件,允許用戶在沒有額外硬件或附件的情況下,輕松準確地定位自己的底物進行蝕刻/灰化。該機還配備了LAM專有TCP 9600控制器。該控制器包含32位ARM-Core內部處理器,以及一組豐富的數字和模擬信號輸入和輸出,用於與各種設備接口,如PID控制器、溫度傳感器和電動機。該工具包括一整套軟件應用程序,允許用戶自定義資產設置、監視活動和實時進行更改。控制器能夠充分利用LAM高級通信協議,包括TCP/IP、以太網、USB和RS 232協議。這使得模型可以很容易地與其他計算機和設備聯網。這些通信協議允許設備連接到各種控制系統,從而使用戶能夠靈活地定制其使用情況,並以各種方式配置系統。該單元設計用於對各種材料(包括金屬、合金、聚合物、半導體和磁性材料)進行快速高效的蝕刻/粉刷。該機器能夠支撐範圍廣泛的溫度,最高可達110°C (230 °F),以精確控制蝕刻過程。該工具還具有若幹安全功能,以保護用戶免受潛在危害。除了可靠的可靠性外,LAM TCP 9600還提供卓越的性能和精確度。該資產的精度可降至0.1 μ m,蝕刻速率範圍為0.00001至100 μ/分鐘。該模型還提供了對深度和角度的精確控制,以及出色的選擇性,使用戶能夠獲得出色的蝕刻結果。TCP 9600確實是一種革命性的、最先進的工業蝕刻器/asher,它提供可靠而精確的蝕刻和灰化功能。它是高通量半導體制造的理想解決方案,為所有類型的應用提供了出色的控制、精度和可重復性。
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