二手 LAM RESEARCH TCP 9600 #293805103 待售

LAM RESEARCH TCP 9600是一種用於半導體工業的等離子體蝕刻器/asher設備。該系統被設計成精確的圖案和蝕刻或粉刷表面具有很高的重復性和準確性。LAM RESEARCH TCP9600采用兩個單獨的源室，可單獨配置，從而優化介電、金屬和氧化矽材料的蝕刻速率。該裝置采用了一種基於LAM RESEARCH專有的低壓感應耦合等離子體源的復雜高效的新工藝。等離子體源允許對金屬層、氧化矽和氮化物材料的結構進行高精度蝕刻和灰化。該機器的創新源室旨在創建高純度和可靠的工藝結果,確保一致的性能並提供經濟高效的解決方案。全自動系統提供了高度的過程控制和反饋,從而降低了成本並延長了正常運行時間。TCP-9600還具有廣泛的LAM RESEARCH軟件功能,可輕松準確地設置流程配方、執行和流程優化,從而確保最佳蝕刻結果。LAM TCP 9600能夠以經濟高效的方式以極好的精度和可重復性對介電、金屬和氧化矽材料進行蝕刻和灰化。兩個獨立的源室，集成自動化和通用控制工具允許快速和方便的過程設置執行。蝕刻室還配備了負載鎖，可選的外部和後部負載鎖系統允許高吞吐量。獨特的等離子體源設置可實現環境友好、低消耗的工作流程,以及高流程均勻性、可重復性和穩定性。此外,該資產還具有獨特的排氣處理功能,幾乎不需要維護,這既有利於環境,又具有成本效益。總體而言,TCP9600 蝕刻器/asher是一種先進的模型,其設計目的是在處理介電材料、金屬材料和氧化矽材料時確保精度、重復性和準確性。兩個源室，即通用控制設備和精密的過程控制和反饋，提供了一個經濟高效的解決方案。該系統還允許簡單的配方設置和執行以及優化過程以獲得最佳蝕刻結果。LAM RESEARCH TCP-9600以其環保的設計和低維護設置，是一個可靠且經濟實惠的半導體材料蝕刻和灰化裝置。