二手 LAM RESEARCH TCP 9600 #293809935 待售

LAM RESEARCH TCP 9600是一款功能強大的蝕刻器/asher設備,旨在精確、高通量地處理晶片。它配備了堅固、精確的閉環蝕刻系統，能夠以精確的溫度控制和精確的循環時間處理全自動生產。該裝置具有一個完全可編程的板載源/排水植入物源，可為每個半導體器件制造過程量身定制。這臺機器能夠處理具有廣泛材料和應用的高速蝕刻和灰化操作。LAM RESEARCH TCP9600是一種模塊化、高精度的蝕刻和灰化工具,可根據應用程序進行各種蝕刻和灰分操作。它采用單室設計，帶有專用的蝕刻和灰燼室，溫度範圍可達500 °C。該資產還配備了重型精密電機，允許精確控制蝕刻速率。它還包括許多先進的可編程功能，用於精確控制灰度、流量和壓力。TCP-9600還提供高速和吞吐量,提供高達200 mm/min的蝕刻速率和高達400mm/min的灰分速率。該模型的設計可容納多達八個工藝，每個工藝具有三層深度和七層蝕刻。它還具有全面的模式覆蓋,具有自動邊界檢測、側壁剖析和過度切割保護等功能。TCP 9600是可靠的設備,旨在確保生產過程中的最大正常運行時間。它配備了記錄活動和事件的高級流程跟蹤系統，可用於監控單元性能。為了便於維護，TCP9600還配備了一個自我監控機器，對蝕刻室、安全閥和電機進行定期測試。LAM RESEARCH TCP-9600是一個可靠可靠的蝕刻和灰化工具，提供精確的材料加工和高吞吐量。它是一種適用於現代半導體器件制造工藝的高適應性解決方案，其精密蝕刻和灰化的先進特性使其成為各種工業應用的理想解決方案。