二手 LAM RESEARCH TCP 9600 #293809943 待售

LAM RESEARCH TCP 9600是專門為大容量等離子體處理而設計的蝕刻器/asher。它建立在一個雙腔室平臺上，允許同時對多種基板進行等離子體蝕刻，並能夠在腔室之間快速切換進行批量操作。該工藝室設計可容納直徑最大為8英寸的兩種基材尺寸，並配有8個工藝氣體輸送設備，允許嚴密的工藝控制。集成真空系統提供低顆粒汙染水平和大線性移動射頻天線縮短蝕刻時間。拋光不銹鋼腔室可確保最低限度的維護和較長的使用壽命。LAM RESEARCH TCP9600配備了控制軟件，使整個蝕刻過程自動化，並監控每個步驟。主控制控制臺提供了易於操作的圖形用戶界面，並帶有用於遠程監控的以太網直接連接。它還包括一個標準配方設置庫，為用戶提供一組預先編程的配方來開始蝕刻作業。用戶可以訪問配方庫,更改參數並將其保存在內存中。此外,網絡連接允許遠程監視和控制多個設備。該機組進一步配備了500W射頻發電機，提供等離子體蝕刻過程所需的能量。多模式操作使它能夠在硬蝕刻和軟蝕刻模式下工作。射頻輻射的獨特鎖存機還允許TCP-9600在一致的壓力下運行，在多個基板上提供均勻的蝕刻。LAM RESEARCH TCP-9600采用自動氣體混合工具，內置氣體混合歧管和兩級直線閘閥，以確保準確的混合和易於維護。多區域混合技術允許用戶根據正在蝕刻的材料來調整配方設置。亞微米、高分辨率的3D成像技術保證了高質量的圖樣形成。內置真空資產有助於最大限度地減少氣體和化學物質的暴露，而嵌入式軟件提供警報保護和易於維護。總體而言,TCP9600提供了可靠、用戶友好的蝕刻模型,可滿足任何大批量生產的需求。憑借強大的性能和先進的特性，該設備在精確度和精確度上均優於競爭對手，成為制造商的理想選擇。這些特性使其成為那些希望在等離子體處理操作中獲得最高效率和價值的人的必備產品。