二手 LAM RESEARCH TCP 9600 #293815236 待售

LAM RESEARCH TCP 9600是一款先進的蝕刻器，或稱asher，設計用於半導體工業中光刻、電介質、聚酰亞胺等可蝕刻材料的高級蝕刻、剝離和沈積。它適用於高批量和低批量批處理過程以及過程開發和低成本原型制作。LAM RESEARCH TCP9600為其應用提供了多種工藝功能,如高質量的圖樣蝕刻、高速率蝕刻、均勻沈積和反應性離子蝕刻（RIE）功能。在操作中，TCP-9600蝕刻器配置有兩個獨立的等離子體源腔室和兩個獨立的端點控制系統。等離子體源通過氣態分布閥連接到排氣歧管，允許用戶對每個腔室的工藝參數進行編程和控制。這允許用戶定義幾乎任何蝕刻和沈積過程參數，如氣體流速、溫度和壓力水平，以達到預期的結果。端點控制設備監視腔室中的過程。TCP9600蝕刻器采用微波等離子發電機和先進的控制系統。它使用該單元同時控制腔室壓力、溫度和其他工藝參數。微波發生器可實現更高速率的過程，同時允許使用多個腔室。先進的控制機在蝕刻和沈積過程中提高了工藝的穩定性和準確性。TCP 9600蝕刻器還包括用於測量蝕刻和沈積速率的高級工藝傳感器陣列,可提供高水平的工藝控制和反饋。此外,它還可以連接到計算機進行遠程操作和數據存儲。LAM RESEARCH TCP-9600能夠使用多達9種氣體，並且可以在蝕刻室中編程多達7種氣體流動。總體而言,LAM RESEARCH TCP 9600蝕刻器是一種先進的蝕刻和沈積工具,既適用於高級大批量批處理,也適用於低成本原型制作。它提供了出色的過程控制、高處理率和廣泛的過程傳感器,以確保最高質量的結果。