二手 LAM RESEARCH TCP 9600 #293824138 待售

LAM RESEARCH TCP 9600是一種自動化的等離子體蝕刻器/asher，設計用於從基材中精確去除軟材料。LAM RESEARCH TCP9600包括高級功能,可為蝕刻應用程序提供卓越的工作效率和性能,從而提高吞吐量並縮短周期時間。TCP-9600 蝕刻器/asher利用雙微波接口（DMI）在所有基板上提供更加一致和完整的蝕刻。這種技術幾乎覆蓋了基板，蝕刻速率幾乎沒有變化。雙微波接口還允許精確的溫度控制，允許一致的蝕刻性能。TCP 9600具有先進的蝕刻工具,具有大面積等離子體蝕刻室和專有的可編程氣體分配設備。氣體分配系統允許對整個腔室的蝕刻環境進行精確調整，從而使用戶能夠對蝕刻過程進行最佳控制。這導致了均勻的蝕刻過程，蝕刻速率的標準差較低。TCP9600還采用等離子體場成形技術，幫助限制對基板的表面損傷，從而實現更清潔、更均勻的表面制備過程。射頻天線的使用允許廣泛的等離子體場形狀，允許對蝕刻進行更精確的控制。此外，LAM RESEARCH TCP-9600還包括廣泛的安全系統，以確保用戶的安全和合規性。這包括一個板載冷卻劑單元，以盡量減少蝕刻危險，一個濕度甲板，以提供額外的保護，從微粒，和一個自動壓力和溫度監測機器。LAM RESEARCH TCP 9600是一款全自動蝕刻器/asher,旨在提供高精度蝕刻性能,並提高吞吐量和縮短周期時間。它提供了幾種功能,使用戶能夠安全、精確地處理各種基板,從而實現均勻、幹凈的表面準備。這款蝕刻器/asher適用於廣泛的蝕刻應用，旨在滿足半導體行業最嚴格的標準。