二手 LAM RESEARCH TCP 9600 #293825708 待售

LAM RESEARCH TCP 9600是一種蝕刻/灰分設備，用於半導體晶片的加工和制圖。該系統利用遙控電子束在基板表面上精確繪制和加工所需的結構。光束由單電子槍產生，安裝在單元內部的真空室中。電子束被兩個電磁線圈聚焦偏轉；靜電透鏡和靜電偏轉機。電子束掃描過基板表面，根據預定義的圖樣有選擇地蝕刻、灰燼或沈積材料。LAM RESEARCH TCP9600工具提供了廣泛的功能,旨在滿足半導體加工的特定需求。這些特點包括具有均勻氣流和加速度資產的大型工藝艙、廣泛的氣體供應選擇、獨特設計的等離子體源室以及用於精確對準、掃描和控制光束的先進控制器。此外,TCP-9600模型還提供了一個易於使用的用戶界面和直觀的圖形顯示,允許用戶在每個過程步驟之前修改和優化掃描速度和能量等參數。該設備還提供了一系列診斷工具,包括實時成像,用戶可以實時監控每個流程步驟。最後，LAM RESEARCH TCP-9600蝕刻/灰分系統具有較快的處理速度，允許更高的吞吐量和提高設備產量。該單元還設計了一個靈活的架構，可以快速適應不斷變化的半導體應用。這樣可以確保機器的性能和可靠性,即使通過長期、大容量的半導體蝕刻和灰化也是如此。