二手 LAM RESEARCH TCP 9600 #9043962 待售

LAM RESEARCH TCP 9600是一種蝕刻器/asher,設計用於執行具有出色的均勻性和可重復性的揮發性、精密蝕刻和灰化過程。該設備利用最新的先進腔室技術、過程控制和支持系統，為各種應用提供最可靠的操作和高質量的結果。腔室尺寸小，允許高利用率的空間，但它能夠處理腔室體積高達16立方英寸。系統使用計算機控制的硬件，允許直接設置和監控參數。它旨在最小化變形和最小化傳遞標記，從而確保能夠獲得最佳的蝕刻和灰化效果。操作員可以使用內置的軟件程序設置參數以及創建程序，設備可以處理預設以及存儲多達50個晶片進行批處理。此外，該機還具有基於微處理器的PID控制功能，可實現更高的精度和重復性。有了它，用戶可以產生並保持整個腔室的均勻氣流，這進一步有助於產生一貫的優異效果。LAM RESEARCH TCP9600還擁有一個內置的壓力控制器,可方便地設置、監控和跟蹤刀具壓力,以及一個可編程溫度控制器,可用於監控和設置最佳環境,以便進行蝕刻和灰化過程。該資產還具有就地處理能力，使得只對所有進程使用一個會議廳而不是多個會議廳更容易，更具成本效益。它還為用戶提供了在全晶圓或工藝窗口利用方面更大的靈活性，以及在同一腔室中處理多層的能力。此外，該型號還配備了先進的安全包，有助於確保用戶的安全，包括防火門和防火室、警告計時、過程覆蓋和電弧故障檢測。TCP-9600是一個可靠和高質量的蝕刻器/asher解決方案,提供精確和可重復性、易於自動化和出色的安全措施。