二手 LAM RESEARCH TCP 9600 #9177752 待售
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單擊可縮放
已售出
ID: 9177752
晶圓大小: 8"
優質的: 1998
Poly etcher, 8"
Software version: E1.5 Released
SMIF System: (2) Integrated SMIFs
Handler system: Wafer notch alignment
With (1) spatula
Process chambers:
(1) Etching
(1) Stripping
(1) Rinse / Spin dry
(1) Loadlock
(3) RF Generators: 1250W
(1) Manual WVDS controller
(1) Remote AC box
Main chambers:
(1) Turbo pump 1000 litre
With controller
(1) E-Chuck
(1) TCP RF Match
(1) BIAS RF Match
(2) RF Generators
(1) 100 sccm CL2 MFC
(1) 50 sccm BCL3 MFC
(1) 250 sccm O2 MFC
(1) 20 sccm N2 MFC
(1) 1000 sccm N2 MFC
(1) 100 sccm Ar MFC
(1) 50 sccm He UPC
Strip chambers:
(1) DSQ RF Match
(1) Heater paddle
(1) RF Generator
(1) Manual WVDS controller
(1) 2000 sccm O2 MFC
(1) 300 sccm N2 MFC
(1) 500 sccm H2O MFC
With controller
Rinse / Dry:
(1) Spin dryer with vacuum chuck
Transport
(1) Wafer notch aligner
With spatula
(2) Harmonic arm drive assemblies
Currently warehoused
1998 vintage.
LAM RESEARCH TCP 9600是一款先進的蝕刻/asher設備，旨在提供精確的圖樣和表面處理能力。LAM RESEARCH TCP9600設計用於處理直徑達300 mm的晶片,但較小的晶片尺寸可通過輔助適配器處理。使用一系列高精度和高速的工藝模塊，TCP-9600能夠蝕刻/灰分工藝，包括濕蝕刻、幹蝕刻、濺射蝕刻等等。TCP 9600采用集成腔室設計,與傳統的批處理技術相比,可提供更好的直通和更短的循環時間。TCP9600配備了用於操作控制的PLC系統和各種過程控制選項,包括實時監控和遠程網絡訪問。此外,該單元還具有一套軟件流程配方,可自動控制流程參數。LAM RESEARCH TCP-9600還包括統一控制和自動補給功能,以保持所有處理站點的最佳流程性能。LAM RESEARCH TCP 9600配有一系列可選腔室,可配置用於精密工藝,包括灰度、平面化和溝槽。該機采用多種引入和提取晶片的方法，如離軸晶片檢索、手動晶片加載系統、無接觸晶片處理和原位SEM端點控制。這使LAM RESEARCH TCP9600能夠在整個復雜室內配置領域提供統一性能。TCP-9600還具有二維成像和激光測距功能的精確位置檢測。這樣就可以精確地成像加工室並改善刀具的正常運行時間。此外,資產還配備了一套工藝配方,可幫助自動化精密蝕刻和灰化工藝的工藝參數。由於封閉的晶圓環境,TCP 9600提供了高水平的安全性和可靠性。該模型的設計目的是減少業務排放並符合適用的安全標準，同時還提供清潔幹燥的環境。該設備由一臺多功能PC/服務器提供動力,在生命周期可靠性方面提供可靠性和性能。總之，TCP9600是一個先進的蝕刻/asher系統，旨在提供精確的圖樣和表面處理能力。通過使用大量高精度工藝模塊，LAM RESEARCH TCP-9600能夠進行包括幹濕蝕刻、濺射蝕刻等的蝕刻/灰化工藝。LAM RESEARCH TCP 9600配備了一系列可選的腔室,可提供統一控制和自動補充,以實現最佳的工藝性能。由於封閉的晶圓環境、精確的位置檢測以及自動化的一套工藝配方,該單元還具有高度的安全性和可靠性。
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